申请/专利权人：安徽工业大学

申请日：2022-10-31

公开（公告）日：2023-01-06

公开（公告）号：CN115570219A

主分类号：B23H5/00

分类号：B23H5/00;B23H11/00;B23K26/362;B23K26/70

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.01.24#实质审查的生效;2023.01.06#公开

摘要：本发明公开了电解加工技术领域的一种冰掩膜激光刻蚀复合电解加工方法与装置，包括管电极射流装置、激光器、低温装置、去离子水喷淋装置；管电极射流装置由管电极夹持主体、管电极、密封垫、激光透镜与引电块共同组成，其中管电极夹持主体呈“T”型结构，“T”型两侧为对称进液口，通过使用冰掩膜，保护了非加工表面，避免了杂散电流的发生，提高了工件加工表面质量，冰层的存在提升了沟槽结构开口部位加工控制能力，抑制了喇叭口的产生，通过控制冰层厚度，可以调控沟槽内电场分布，从而调解沟槽结构，提升了加工的灵活性，冰掩膜相较于传统掩膜加工更适合流水线，同时其成本以及后期处理也更为容易，具有极高的研究价值。

主权项：1.一种冰掩膜激光刻蚀复合电解加工装置，其特征在于：包括管电极射流装置4、激光器3、低温装置2、去离子水喷淋装置5；所述管电极射流装置由管电极夹持主体10、管电极11、密封垫8、激光透镜9与引电块7共同组成。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 安徽工业大学 一种冰掩膜激光刻蚀复合电解加工方法与装置

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