申请/专利权人：南京百识电子科技有限公司

申请日：2022-10-09

公开（公告）日：2023-01-06

公开（公告）号：CN218232648U

主分类号：C30B25/12

分类号：C30B25/12;C30B23/02;C30B29/36;H01L21/673

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.01.06#授权

摘要：本实用新型公开了一种碳化硅外延生产载具，涉及生产载具技术领域，包括相互配合的碳硅载具和离心载具，所述碳硅载具的正面设有放置碳化硅衬底的衬底托盘，所述碳硅载具的背面边缘内侧设有凸环，所述凸环上设有卡槽，所述离心载具上设有与凸环相配合的对接环块，所述对接环块边缘内侧设有卡入到卡槽内的凸起块；本实用新型通过离心载具上的凸起块与碳硅载具上的卡槽相配合，使得碳硅载具与离心载具不会产生偏角度，同时也使得碳化硅在成长过程中背面不会有碳化硅薄膜沉积产生。

主权项：1.一种碳化硅外延生产载具，包括相互配合的碳硅载具（1）和离心载具（2），其特征在于，所述碳硅载具（1）的正面设有放置碳化硅衬底的衬底托盘（3），所述碳硅载具（1）的背面边缘内侧设有凸环（5），所述凸环（5）上设有卡槽（6），所述离心载具（2）上设有与凸环（5）相配合的对接环块（7），所述对接环块（7）边缘内侧设有卡入到卡槽（6）内的凸起块（8）。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 南京百识电子科技有限公司 一种碳化硅外延生产载具

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