申请/专利权人：东莞市晟鼎精密仪器有限公司

申请日：2022-08-16

公开（公告）日：2023-01-06

公开（公告）号：CN218222952U

主分类号：B05B1/14

分类号：B05B1/14;B05B15/00;H01L21/3213

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.01.06#授权

摘要：本实用新型公开了一种蚀刻系统多层进气喷淋头装置，用于真空等离子蚀刻系统，包括进气板、第一匀气板、第二匀气板与工艺腔体，进气板安装在工艺腔体上，第二匀气板安装在进气板的中部，第一匀气板安装在第二匀气板内，进气板的中部分布有六个进气口，第一匀气板上等距分布有若干第一匀气孔，第二匀气板上等距分布有若干第二匀气孔，若干第一匀气孔与若干第二匀气孔错位分布，进气速度快，分流速度快，且安装灵活，拆卸方便。

主权项：1.一种蚀刻系统多层进气喷淋头装置，用于真空等离子蚀刻系统，其特征在于：包括进气板、第一匀气板、第二匀气板与工艺腔体，所述进气板安装在工艺腔体上，所述第二匀气板安装在进气板的中部，所述第一匀气板安装在第二匀气板内，所述进气板的中部分布有六个进气口，所述第一匀气板上等距分布有若干第一匀气孔，所述第二匀气板上等距分布有若干第二匀气孔，所述若干第一匀气孔与若干第二匀气孔错位分布。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 东莞市晟鼎精密仪器有限公司 一种蚀刻系统多层进气喷淋头装置

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