申请/专利权人：捷成微系统(惠州)股份有限公司

申请日：2022-08-17

公开（公告）日：2023-01-06

公开（公告）号：CN218226745U

主分类号：B25J19/00

分类号：B25J19/00;B25J9/02;B25J11/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.01.06#授权

摘要：本实用新型提供了一种机械手臂防撞装置，包括：升降旋转机构、急停止控制机构以及浸泡提篮机构，升降旋转机构包括配装座、升降驱动组件以及旋转驱动组件，升降驱动组件以及旋转驱动组件均安装在配装座上，升降驱动组件用于驱动旋转驱动组件沿着配装座升降，旋转驱动组件用于驱动紧急停止控制机构以及浸泡提篮机构同时旋转。本实用新型提供的机械手臂防撞装置主要由升降旋转机构、急停止控制机构以及浸泡提篮机构组成，其中，急停止控制机构安装在浸泡提篮机构与升降旋转机构之间，用于在浸泡提篮机构发生碰撞时控制升降旋转机构紧急停止动作，防撞效果较好，可以防止因操作失误导致撞击造成晶圆损坏的情况发生。

主权项：1.一种机械手臂防撞装置，其特征在于，包括：用于驱动浸泡提篮机构升降旋转的升降旋转机构1；用于盛放晶圆4并将所述晶圆4放置在药液中浸泡的浸泡提篮机构3；用于在所述浸泡提篮机构3发生碰撞时控制所述升降旋转机构1紧急停止动作的紧急停止控制机构2，所述急停止控制机构2安装在所述浸泡提篮机构3与所述升降旋转机构1之间。

全文数据：

权利要求：

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