申请/专利权人:暨南大学
申请日:2021-07-07
公开(公告)日:2023-01-13
公开(公告)号:CN115598866A
主分类号:G02F1/01
分类号:G02F1/01
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2023.02.07#实质审查的生效;2023.01.13#公开
摘要:本发明公开了一种光调制器。所述光调制器包括衬底、导电氧化物层、介质层、金属层;所述衬底具有相背对设置的第一表面和第二表面,所述第一表面设有至少一个槽,所述槽的槽壁包括沿设定方向相对设置的两个壁面,且两个所述壁面之间形成85‑95°的夹角;所述金属层至少连续覆盖所述槽的槽壁;所述导电氧化物层和介质层叠设在衬底和金属层之间,并用于在所述衬底与金属层之间形成电连接;当使被调制光由所述衬底的第二表面入射,且在所述衬底和金属层间施加指定偏压时,能够调控所述光调制器对指定波长光的吸收,进而实现光信号的调制。本发明提供的光调谐器,提高了光调制器的调制效率。
主权项:1.一种光调制器,其特征在于,包括衬底、导电氧化物层、介质层、金属层;所述衬底具有相背对设置的第一表面和第二表面,所述衬底的第一表面设有至少一个槽,所述槽的槽壁包括沿设定方向相对设置的两个壁面,且两个所述壁面之间形成85-95°的夹角;所述金属层至少连续覆盖所述槽的槽壁;所述导电氧化物层和介质层叠设在衬底和金属层之间,并用于在所述衬底与金属层之间形成电连接;当使被调制光由所述衬底的第二表面入射,且在所述衬底和金属层间施加指定偏压时,能够调控所述光调制器对指定波长光的吸收,进而实现光信号的调制。
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