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【发明公布】液体前体蒸气压控制_ASM IP私人控股有限公司_202210728775.5 

申请/专利权人:ASM IP私人控股有限公司

申请日:2022-06-24

公开(公告)日:2023-01-13

公开(公告)号:CN115593808A

主分类号:B65D88/74

分类号:B65D88/74;B65D90/00;B65D90/48;C23C14/54;C23C16/448;C23C16/52;C30B23/00;H01L21/67

优先权:["20210628 US 63/215,662"]

专利状态码:在审-公开

法律状态:2023.01.13#公开

摘要:一种用于半导体处理系统中的源容器,通过提供对蒸气压的增强控制来供应前体材料。源容器包括限定用于容纳一定体积的液态前体的室的外壳或容器。源容器还包括温度传感器,其配置成检测当前包含在外壳的室内的液态前体的表面温度。温度传感器可以采用温度测量装置的形式,例如浮子上的热电偶,或者非接触式温度测量装置的形式,例如具有到液体表面的视线的红外IR温度传感器。

主权项:1.一种用于半导体处理系统的源容器,该源容器包括:限定用于容纳液态前体的室的外壳;以及温度传感器,其配置为检测包含在外壳的室内的液态前体的表面温度。

全文数据:

权利要求:

百度查询: ASM IP私人控股有限公司 液体前体蒸气压控制

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