申请/专利权人：江南大学

申请日：2022-10-17

公开（公告）日：2023-01-13

公开（公告）号：CN115597522A

主分类号：G01B11/24

分类号：G01B11/24

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.02.07#实质审查的生效;2023.01.13#公开

摘要：本发明公开了一种双波长面型测量仪及测量方法，属于干涉测量技术领域。该测量仪包括第一激光光源和第二激光光源，在所述第一激光光源出射光线的传播路径上依次设有第一分光棱镜、第一衰减器、第一反射镜、第一空间滤波器、第一扩束准直器、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜和第二分光棱镜，作为参考光路；在所述第二激光光源出射光线的传播路径上依次设有第一分光棱镜、第二衰减器、第二空间滤波器、第二扩束准直器和第二分光棱镜，作为物光路。本发明测量精度高，测量速度快，是一种非接触式测量方法，对测量物体不会有任何损害；由于是双波长产生的合成波长，当两个波长相差较小时可以增大被测物体的可测尺寸，具有测量范围更广的优势。

主权项：1.一种双波长面型测量仪，其特征在于，包括第一激光光源和第二激光光源，在所述第一激光光源出射光线的传播路径上依次设有第一分光棱镜、第一衰减器、第一反射镜、第一空间滤波器、第一扩束准直器、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜和第二分光棱镜，作为参考光路；在所述第二激光光源出射光线的传播路径上依次设有第一分光棱镜、第二衰减器、第二空间滤波器、第二扩束准直器和第二分光棱镜，作为物光路。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江南大学 双波长面型测量仪及测量方法

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