申请/专利权人：长鑫存储技术有限公司

申请日：2021-07-13

公开（公告）日：2023-01-17

公开（公告）号：CN115621142A

主分类号：H01L21/66

分类号：H01L21/66;G03F7/20

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.02.10#实质审查的生效;2023.01.17#公开

摘要：本申请提供一种测量图的配置方法及装置，根据预设规则从初始测量位置中选择目标检测标记得到测量图，所确定的测量图既能够满足测量的全面性、又能够减少量测量。

主权项：1.一种测量图的配置方法，其特征在于，包括：提供待检测晶圆，根据所述待检测晶圆上第一预设数量的初始检测标记获取第一检测结果；利用预设规则设定第二预设数量的所述初始检测标记作为目标检测标记，所述第二预设数量小于所述第一预设数量；根据所述目标检测标记获取第二检测结果，使得所述第二检测结果与所述第一检测结果相匹配；根据所述目标检测标记设置测量图。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 长鑫存储技术有限公司 测量图的配置方法及装置

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