申请/专利权人：铠侠股份有限公司

申请日：2021-12-03

公开（公告）日：2023-01-17

公开（公告）号：CN115615368A

主分类号：G01B15/04

分类号：G01B15/04;H01L21/66

优先权：["20210713 JP 2021-115748"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.02.10#实质审查的生效;2023.01.17#公开

摘要：本发明的实施方式涉及一种形状测量方法、形状测量装置、及程序。实施方式的形状测量方法中，通过第1拟合处理来计算第1参数群中所包含的参数的收敛值，所述第1拟合处理使用了散射强度曲线及第1推想散射强度曲线，所述散射强度曲线与照射在具有特定图案的衬底上的电磁波的散射强度有关，所述第1推想散射强度曲线与对第1虚拟构造进行第1模拟而算出的散射强度有关，其中第1虚拟构造是基于由包含重点参数在内的多个参数所组成的第1参数群而构成。通过第2拟合处理来计算第2参数群中所包含的参数的收敛值，所述第2拟合处理使用了散射强度曲线及第2推想散射强度曲线，所述第2推想散射强度曲线与对第2虚拟构造进行第2模拟而算出的散射强度有关，其中第2虚拟构造是基于由包含重点参数在内的多个参数所组成的第2参数群而构成且重点参数中收敛值被设定为常数。

主权项：1.一种形状测量方法，包含如下步骤：获取散射强度曲线，所述散射强度曲线与从第1装置照射到具有特定图案的衬底的电磁波的散射强度有关；获取第1推想散射强度曲线，所述第1推想散射强度曲线与对第1虚拟构造进行第1模拟而算出的散射强度有关，所述第1虚拟构造是基于由包含重点参数在内的多个参数所组成的第1参数群而构成；通过使用所述散射强度曲线与所述第1推想散射强度曲线进行的第1拟合处理，来计算所述第1参数群中所包含的参数的收敛值；获取第2推想散射强度曲线，所述第2推想散射强度曲线与对第2虚拟构造进行第2模拟而算出的散射强度有关，所述第2虚拟构造是基于由包含所述重点参数在内的多个参数所组成的第2参数群而构成，且所述重点参数中所述收敛值被设定为常数；及通过使用所述散射强度曲线与所述第2推想散射强度曲线进行的第2拟合处理，来计算所述第2参数群中所包含的参数的收敛值。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 铠侠股份有限公司 形状测量方法、形状测量装置、及程序

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