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【发明公布】退火装置的控制装置、退火装置、及退火方法_住友重机械工业株式会社_202210808731.3 

申请/专利权人:住友重机械工业株式会社

申请日:2022-07-11

公开(公告)日:2023-01-17

公开(公告)号:CN115621161A

主分类号:H01L21/67

分类号:H01L21/67;H01L21/324

优先权:["20210712 JP 2021-115132"]

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2023.02.10#实质审查的生效;2023.01.17#公开

摘要:本发明提供一种能够进一步抑制与激光照射面为相反侧的面的温度上升的退火装置的控制装置、退火装置、及退火方法。利用光束整形光学元件将从激光光源输出的脉冲激光光束在退火对象物的表面上的光束点整形为在一个方向上长的形状。移动机构使光束点相对于退火对象物移动。控制装置对激光光源及移动机构进行控制,进行一边使脉冲激光光束入射到退火对象物,一边使光束点相对于退火对象物在光束点的长度方向上移动的扫掠动作,由此进行退火。

主权项:1.一种控制装置,对退火装置进行控制,其中所述退火装置包括:激光光源,输出脉冲激光光束;光束整形光学元件,将从所述激光光源输出的所述脉冲激光光束在退火对象物的表面上的光束点整形为在一个方向上长的形状;以及移动机构,使所述光束点相对于所述退火对象物移动,且所述控制装置,对所述激光光源及所述移动机构进行控制,进行一边使所述脉冲激光光束入射到所述退火对象物,一边使所述光束点相对于所述退火对象物在所述光束点的长度方向上移动的扫掠动作,由此进行退火。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 住友重机械工业株式会社 退火装置的控制装置、退火装置、及退火方法

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