申请/专利权人：佑光智能半导体科技(深圳)有限公司

申请日：2022-11-01

公开（公告）日：2023-01-17

公开（公告）号：CN115621169A

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01L21/677;H01L21/68;H01L21/687;H01L33/54

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.02.10#实质审查的生效;2023.01.17#公开

摘要：本申请涉及半导体封装设备技术领域，公开了一种高速Mini‑LED固晶机及固晶方法，高速Mini‑LED固晶机包括机架、晶环模组、可拆卸的设置在机架上的镜头模组、顶针模组和固晶模组，机架上开设有第一工位和第二工位，模组可放在第一工位或第二工位上，固晶模组包括摆臂，摆臂包括第一摆臂和第二摆臂，不同材料对应不同摆臂和不同工位，从而提升固晶机的适配度。固晶方法为：晶片放置在晶环模组上，顶针模组将晶片顶起，摆臂转移晶片进行固晶；加工第一材料，镜头模组、顶针模组和固晶模组均位于第一工位，摆臂为第一摆臂，加工第二材料时，镜头模组、顶针模组和固晶模组均位于第二工位，摆臂更换为第二摆臂。本申请具有提升固晶机的适配度的效果。

主权项：1.一种高速Mini-LED固晶机，其特征在于，包括：机架10，开设有第一工位11和第二工位12；晶环模组50，设置在所述机架10上，用于放置晶片；镜头模组20，可拆卸的设置在所述机架10上，用于拍照定位晶片信息，并传递晶片的信息位置偏差；顶针模组30，可拆卸的设置在所述机架10上，用于顶起晶片；固晶模组40，可拆卸的设置在所述机架10上，包括驱动装置41和摆臂42，所述驱动装置41与所述摆臂42相连接，所述驱动装置41用于驱动所述摆臂42在供晶位和固晶位之间往复运动，所述摆臂42用于吸取晶片；当所述镜头模组20、所述顶针模组30和所述固晶模组40均位于所述第一工位11时，所述摆臂42采用第一摆臂对第一材料固晶；当所述镜头模组20、所述顶针模组30和所述固晶模组40均位于所述第二工位12时，所述摆臂42采用第二摆臂对第二材料固晶。

全文数据：

权利要求：

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