申请/专利权人：东方晶源微电子科技(上海)有限公司

申请日：2022-11-03

公开（公告）日：2023-01-17

公开（公告）号：CN115619866A

主分类号：G06T7/73

分类号：G06T7/73;G06T7/246;G06F18/22

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.11.10#实质审查的生效;2023.01.17#公开

摘要：本发明涉及游戏技术领域，特别涉及SEM图像轮廓定位方法、轮廓定位系统及计算机介质，SEM图像轮廓定位方法包括：获取SEM扫描图并提取扫描原图形中轮廓的离散特征点；基于每个离散特征点的初始位置生成与其相连的辅助线段；对每一离散特征点在所处平面内进行预设方向的平移或旋转，直至实现辅助线段与原图形相交并基于每一离散点的总运动距离计算损失值；重复预设次数运动及损失值计算，持续比较每一次得出的损失值的大小直到完成预设次数运动；基于预设次数运动后的最小损失值的一组运动得到每一离散特征点最终位置；基于最终位置调整对应离散特征点，得到SEM扫描图优化轮廓并进行定位。减少计算量，提高运算效率，进而提高SEM图像的轮廓提取效率。

主权项：1.一种SEM图像轮廓定位方法，其特征在于：包括以下步骤：获取SEM扫描图并提取扫描原图形中轮廓的离散特征点；基于每个离散特征点的初始位置生成与其相连的辅助线段；对每一离散特征点在所处平面内进行预设方向的平移或旋转，直至实现辅助线段与原图形相交并基于每一离散点的总运动距离计算损失值；重复预设次数运动及损失值计算，持续比较每一次得出的损失值的大小直到完成预设次数运动；基于预设次数运动后的最小损失值的一组运动得到每一离散特征点最终位置；基于最终位置调整对应离散特征点，得到SEM扫描图优化轮廓并进行定位。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 东方晶源微电子科技(上海)有限公司 SEM图像轮廓定位方法、轮廓定位系统及计算机介质

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