申请/专利权人：株式会社三丰

申请日：2020-10-09

公开（公告）日：2023-01-17

公开（公告）号：CN112697176B

主分类号：G01D5/249

分类号：G01D5/249;G01D5/245;G01B7/02

优先权：["20191007 JP 2019-184856"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.01.17#授权;2022.10.21#实质审查的生效;2021.04.23#公开

摘要：提供了使不必要的电力消耗最小化并改善电力效率的位移测量装置。位移测量装置包括：主标尺；以及检测头，其以相对于主标尺可相对位移的方式设置，并输出具有根据相对于所述主标尺的相对位移而改变的相位的周期信号。检测头输出作为周期信号的、具有粗周期的粗刻度信号和具有细周期的密刻度信号。粗相位检测器根据从粗刻度信号获取的两个相位信息来计算粗刻度信号的平均相位。密相位检测器根据从密刻度信号获取的四个相位信息来计算密刻度信号的平均相位。粗相位检测器根据这两个相位信息来计算粗刻度信号的平均相位，然后在没有完成密相位检测器的操作的情况下停止操作。

主权项：1.一种位移测量装置，包括：主标尺；检测头，其以相对于所述主标尺能够相对位移的方式设置，并且被配置为输出具有根据相对于所述主标尺的相对位移而改变的相位的周期信号；解调器，其被配置为将所述周期信号解调为在边沿处具有相位信息的矩形波刻度信号；以及相位检测器，其被配置为在所述边沿的定时检测所述刻度信号的相位信息，其中，所述检测头被配置为输出作为所述周期信号的第一周期信号和第二周期信号，所述解调器包括：第一刻度解调器，其被配置为将所述第一周期信号解调为第一刻度信号；以及第二刻度解调器，其被配置为将所述第二周期信号解调为第二刻度信号，所述相位检测器包括：第一相位检测器，其被配置为检测所述第一刻度信号的相位信息；以及第二相位检测器，其被配置为检测所述第二刻度信号的相位信息，所述第一相位检测器包括：第一采样信号生成器，其被配置为在所述第一刻度信号的边沿的定时输出第一采样信号；第一计数器，其被配置为基于一定间隔的时钟脉冲对计数值进行计数，并在所述第一采样信号所指定的定时输出所述计数值；第一平均计算执行器，其被配置为计算预定的k1个采样值的平均值；以及第一刻度停止命令单元，其被配置为在检测到所述第一刻度信号的边沿的数量达到所述k1个的情况下输出第一刻度检测停止命令，所述第二相位检测器包括：第二采样信号生成器，其被配置为在所述第二刻度信号的边沿的定时输出第二采样信号；第二计数器，其被配置为基于一定间隔的时钟脉冲对计数值进行计数，并在所述第二采样信号所指定的定时输出所述计数值；第二平均计算执行器，其被配置为计算预定的k2个采样值的平均值，以及在从所述第一刻度停止命令单元输出所述第一刻度检测停止命令的情况下，所述第一刻度解调器被配置为停止对所述第一刻度信号进行解调，以及所述第一相位检测器被配置为停止检测所述第一刻度信号的相位信息，其中，k1和k2是自然数，并且满足k1k2。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社三丰 位移测量装置

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