申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司

申请日：2022-09-23

公开（公告）日：2023-01-17

公开（公告）号：CN218313535U

主分类号：B25J9/04

分类号：B25J9/04;B25J9/10;B25J15/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.01.17#授权

摘要：一种机械手，包括依次连接的传输机构、翻转机构和晶圆夹持机构，传输机构用于带动翻转机构在预定平面内移动，翻转机构包括摆台和转动连接于摆台的翻转臂，摆台用于驱动翻转臂在原始位和翻转位之间转动。传输装置能够带动翻转机构在预定平面内移动，以到达预定平面内的任意位置，翻转机构的摆台驱动翻转臂在原始位和翻转位之间转动，从而带动晶圆夹持机构在原始位和翻转位之间转动，其中，摆台与传输机构连接，翻转臂与晶圆夹持机构连接。机械手能够同时实现晶圆的传输和翻转，其设备成本低、占用空间小、简化了现有操作，进而提高了晶圆清洗效率。

主权项：1.一种机械手，其特征在于，包括依次连接的传输机构、翻转机构和晶圆夹持机构，所述传输机构用于带动所述翻转机构在预定平面内移动，所述翻转机构包括摆台和转动连接于所述摆台的翻转臂，所述摆台用于驱动所述翻转臂在原始位和翻转位之间转动；其中所述摆台与所述传输机构连接，所述翻转臂与所述晶圆夹持机构连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京北方华创微电子装备有限公司 机械手

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