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【发明公布】用于版图处理的方法、设备和介质_全芯智造技术有限公司_202211638018.5 

申请/专利权人:全芯智造技术有限公司

申请日:2022-12-20

公开(公告)日:2023-01-20

公开(公告)号:CN115630599A

主分类号:G06F30/39

分类号:G06F30/39

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2023.03.28#授权;2023.02.14#实质审查的生效;2023.01.20#公开

摘要:根据本公开的示例实施例提供了用于版图处理的方法、设备和介质。在该方法中,获得待处理的版图。版图包括用于辅助成像的辅助图形。该方法还包括确定与辅助图形相关联的成本梯度信息。成本梯度信息指示沿着一个或多个方向改变辅助图形将引起的成像成本变化。该方法还包括基于成本梯度信息,确定目标方向。该方法还包括基于目标方向,在版图中移动辅助图形。以此方式,可以通过沿着目标方向移动辅助图形来改善版图的质量。

主权项:1.一种版图处理方法,其特征在于,包括:获得待处理的版图,所述版图包括用于辅助成像的辅助图形;确定与所述辅助图形相关联的成本梯度信息,所述成本梯度信息指示沿着一个或多个方向改变所述辅助图形将引起的成像成本变化;基于所述成本梯度信息,确定目标方向;以及基于所述目标方向,在所述版图中移动所述辅助图形。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 全芯智造技术有限公司 用于版图处理的方法、设备和介质

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