申请/专利权人：长鑫存储技术有限公司

申请日：2021-07-19

公开（公告）日：2023-01-24

公开（公告）号：CN115639719A

主分类号：G03F1/66

分类号：G03F1/66

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2023.01.24#公开

摘要：本发明涉及半导体技术领域，提出了一种光罩盒及半导体设备。光罩盒，包括：本体，本体具有用于容纳光罩的容纳空间，容纳空间具有第一开口，第一开口位于本体的周向侧部；遮挡件，遮挡件设置在本体上，且相对于本体可活动地设置，以遮挡或释放第一开口。由于第一开口位于本体的周向侧部，用于遮挡或释放第一开口的遮挡件在释放第一开口时，光罩盒属于前后分开的方式，有效地避免气流扰动现象的出现，减少了灰尘污染光罩的现象，有效提高了半导体结构的良品率。

主权项：1.一种光罩盒，其特征在于，包括：本体，所述本体具有用于容纳光罩的容纳空间，所述容纳空间具有第一开口，所述第一开口位于所述本体的周向侧部；遮挡件，所述遮挡件设置在所述本体上，且相对于所述本体可活动地设置，以遮挡或释放所述第一开口。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 长鑫存储技术有限公司 光罩盒及半导体设备

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