申请/专利权人：技程有限公司

申请日：2021-07-20

公开（公告）日：2023-01-24

公开（公告）号：CN115635417A

主分类号：B24B41/02

分类号：B24B41/02;B24B47/00;B24B37/34;H01L21/67

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.02.14#实质审查的生效;2023.01.24#公开

摘要：本发明提供一种工作载台角度调整机构，包括工作载台、陶瓷吸盘、转盘平台、两组微调机构及固定机构，陶瓷吸盘设置于工作载台上，工作载台由分布于周边的两组微调整机及固定机构安装于转盘平台上，微调机构包括马达、减速机、联轴器、芯轴、螺母及螺帽，马达带动减速机的输出轴转动，联轴器两端连接输出轴与芯轴，螺母与螺帽锁固于工作载台，芯轴螺接于螺母，芯轴被转动，螺母牵引工作载台轻微升降；固定机构包括固定座、固定轴套及固定螺栓，固定座锁固于转盘平台上，顶部支撑工作载台，固定轴套设置于工作载台的通孔内，固定螺栓贯穿固定轴套锁固于固定座，借由不动的固定机构及两组微调机构调整工作载台的微倾角。

主权项：1.一种工作载台角度调整机构，其特征在于，包括：工作载台、陶瓷吸盘、转盘平台、两组微调机构及一固定机构，所述陶瓷吸盘设置于所述工作载台上，所述工作载台由分布于周边的两组所述微调整机及所述固定机构安装于所述转盘平台上，由所述微调机构调整所述工作载台的倾角，所述微调机构由下而上包括马达、减速机、联轴器、芯轴、螺母及螺帽，所述马达带动所述减速机的输出轴转动，所述联轴器两端连接所述输出轴与所述芯轴，使两者同步运作，所述螺母与所述螺帽锁固于所述工作载台，所述芯轴螺接于所述螺母，当所述马达转动经所述减速机减速后，由所述输出轴经所述联轴器传动至所述芯轴，当所述芯轴转动，所述螺母牵动所述工作载台轻微上升或下降；所述固定机构包括固定座、固定轴套及固定螺栓，所述固定座锁固于所述转盘平台上，顶部支撑着所述工作载台，所述固定座中心具有一内螺纹孔，所述工作载台设有通孔，所述固定轴套设置于所述通孔内且底部安装于所述固定座上，所述固定螺栓贯穿所述固定轴套且锁固于所述固定座的所述内螺纹孔。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 技程有限公司 工作载台角度调整机构

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