申请/专利权人：中电科技德清华莹电子有限公司

申请日：2021-07-20

公开（公告）日：2023-01-24

公开（公告）号：CN115642891A

主分类号：H03H9/02

分类号：H03H9/02;H03H9/05;H03H9/64

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.02.14#实质审查的生效;2023.01.24#公开

摘要：本发明公开了一种声表面波谐振器，包括压电膜层、低声速层、高声速层、支撑基底、IDT电极和反射器，低声速层层叠于压电膜层与高声速层之间；IDT电极和反射器设在压电膜层上，IDT电极包括第一IDT电极、第二IDT电极和上、下侧汇流条，第一IDT电极的外边缘连接上侧汇流条，第二IDT电极的外边缘连接下侧汇流条，第一IDT电极和第二IDT电极的梳状指条部分交叠插入形成呈平行四边形的交叠区域；第一IDT电极和第二IDT电极在沿孔径方向前端，分别设有附加层，并形成平行四边形低声速区域；低声速区域两侧形成三角形高声速区域。本发明的高声速区域、低声速区域和中心声速区域均形成不对称形状，能抑制横波模式寄生。

主权项：1.一种声表面波谐振器，包括压电膜层、低声速层、高声速层、支撑基底、IDT电极和反射器，所述低声速层层叠于压电膜层与高声速层之间；所述高声速层设于支撑基底上，或者所述高声速层和支撑基底为一体成型；所述IDT电极和反射器设置在压电膜层上，其特征在于：所述IDT电极包括第一IDT电极11、第二IDT电极12、上侧汇流条10a和下侧汇流条10b，第一IDT电极11的外边缘连接上侧汇流条10a，第二IDT电极12的外边缘连接下侧汇流条10b，第一IDT电极11的梳状指条与第二IDT电极12的梳状指条部分交叠插入形成交叠区域302；第一IDT电极11和第二IDT电极12在沿孔径方向前端，分别设有附加层13；所述上侧汇流条10a与下侧汇流条10b相互平行，且与弹性波传播方向保持平行，所述交叠区域302为平行四边形交叠区域；第一IDT电极11的梳状指条与第二IDT电极12的梳状指条均垂直波矢方向；第一IDT电极11与第二IDT电极12的前端形成平行四边形低声速区域301，低声速区域301两侧形成三角形高声速区域303。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中电科技德清华莹电子有限公司 一种声表面波谐振器

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