申请/专利权人:联华电子股份有限公司
申请日:2021-08-10
公开(公告)日:2023-01-24
公开(公告)号:CN115643788A
主分类号:H10N70/20
分类号:H10N70/20;H10B63/00
优先权:["20210720 TW 110126609"]
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2023.02.14#实质审查的生效;2023.01.24#公开
摘要:本发明提供一种电阻式随机存取存储器及其制造方法。所述电阻式随机存取存储器包括设置在衬底上的多个单元结构。所述多个单元结构中的每一个包括第一电极、第一金属氧化物层以及间隔件。所述第一电极设置在所述衬底上。所述第一金属氧化物层设置在所述第一电极上。所述间隔件设置在所述第一电极与所述第一金属氧化物层的侧壁上。此外,所述电阻式随机存取存储器包括第二金属氧化物层以及第二电极。所述第二金属氧化物层设置在所述多个单元结构上,且与所述多个单元结构连接。所述第二电极设置在所述第二金属氧化物层上。
主权项:1.一种电阻式随机存取存储器,其特征在于,包括:多个单元结构,设置在衬底上,其中所述多个单元结构中的每一个包括:第一电极,设置在所述衬底上;第一金属氧化物层,设置在所述第一电极上;以及间隔件,设置在所述第一电极与所述第一金属氧化物层的侧壁上;第二金属氧化物层,设置在所述多个单元结构上,且与所述多个单元结构连接;以及第二电极,设置在所述第二金属氧化物层上。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 联华电子股份有限公司 电阻式随机存取存储器及其制造方法
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