申请/专利权人：聚勒微电子科技(太仓)有限公司

申请日：2022-09-21

公开（公告）日：2023-01-24

公开（公告）号：CN115637496A

主分类号：C30B29/40

分类号：C30B29/40;C30B9/10

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.10.27#授权;2023.02.14#实质审查的生效;2023.01.24#公开

摘要：本发明属于晶体生长技术领域，具体涉及一种双重容器材料生长装置及材料生长方法。本发明的双重容器材料生长装置，包括耐压容器、外生长容器、内生长容器。外生长容器固定于耐压容器中，在外生长容器外侧包裹有加热装置。内生长容器可升降地设于外生长容器内。内生长容器内设有活动隔板，将内生长容器分隔成第一内腔和第二内腔。在第一内腔中固定有晶种支架，在内生长容器的一侧设有连通第一内腔与外生长容器的导流装置，在内生长容器的侧壁上还设有至少一个导流管，导流管连通第二内腔与外生长容器。本发明通过上述结构优化温场和流场在空间和时间上的分布，实现高效地生长品质量好的晶体。

主权项：1.一种双重容器材料生长装置，其特征在于：包括耐压容器（1）、外生长容器（2）、内生长容器（3）；所述外生长容器（2）固定于所述耐压容器（1）中，在外生长容器（2）外侧包裹有加热装置；所述内生长容器（3）可升降地设于所述外生长容器（2）内；所述内生长容器（3）的横截面呈矩形；在靠近所述内生长容器（3）侧壁的位置平行设有活动隔板（33），所述活动隔板（33）将内生长容器（3）分隔成容积较大的第一内腔（31）和容积较小的第二内腔（32）；在所述第一内腔（31）中固定有晶种支架（34），所述晶种支架（34）上远离活动隔板（33）的一侧具有可承载晶种的晶种固定区；在所述内生长容器（3）的一侧设有连通所述第一内腔（31）与所述外生长容器（2）的导流装置（36），所述导流装置（36）具有多个分流道（361）和至少一个总流道（362）；所述分流道（361）呈管状，且阵列排布地指向所述晶种固定区；所述总流道（362）高于任一分流道（361），且总流道（362）与所述外生长容器（2）连通；在所述内生长容器（3）的侧壁上还设有至少一个导流管（37），所述导流管（37）连通所述第二内腔（32）与所述外生长容器（2）；所述总流道（362）的位置高于任一导流管（37）。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 聚勒微电子科技(太仓)有限公司 一种双重容器材料生长装置及材料生长方法

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