申请/专利权人:中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
申请日:2022-10-18
公开(公告)日:2023-01-24
公开(公告)号:CN115639454A
主分类号:G01R31/26
分类号:G01R31/26
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2023.02.14#实质审查的生效;2023.01.24#公开
摘要:本申请涉及一种SiCMOSFET高温反偏或高温栅偏试验的阈值电压监测电路。电路包括:待测的目标SiCMOSFET、第一试验电路、第二试验电路以及测试电路;目标SiCMOSFET的栅极、第一试验电路以及目标SiCMOSFET的源极可形成第一回路,以及目标SiCMOSFET的漏极、第二试验电路以及源极可形成第二回路,以通过第一回路和第二回路对目标SiCMOSFET进行目标试验,目标试验包括高温反偏试验和高温栅偏试验中的一种;漏极和栅极可形成短路回路,以及漏极、测试电路和源极可形成第三回路,以供测试电路在目标试验结束后,在短路回路和第三回路导通的情况下,测量目标SiCMOSFET的阈值电压。本申请通过快速导通不同的电路,实现SiCMOSFET器件阈值电压的监测,能够更准确地监测SiCMOSFET器件的阈值电压。
主权项:1.一种SiCMOSFET高温反偏或高温栅偏试验的阈值电压监测电路,其特征在于,所述阈值电压监测电路包括待测的目标SiCMOSFET、第一试验电路、第二试验电路以及测试电路;所述目标SiCMOSFET的栅极、所述第一试验电路以及所述目标SiCMOSFET的源极可形成第一回路,以及所述目标SiCMOSFET的漏极、所述第二试验电路以及所述源极可形成第二回路,以通过所述第一回路和所述第二回路对所述目标SiCMOSFET进行目标试验,所述目标试验包括高温反偏试验和高温栅偏试验中的一种;所述漏极和所述栅极可形成短路回路,以及所述漏极、所述测试电路和所述源极可形成第三回路,以供所述测试电路在所述目标试验结束后,在所述短路回路和所述第三回路导通的情况下,测量所述目标SiCMOSFET的阈值电压。
全文数据:
权利要求:
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