申请/专利权人：分子印记公司

申请日：2017-09-27

公开（公告）日：2023-01-24

公开（公告）号：CN115642115A

主分类号：H01L21/677

分类号：H01L21/677;H01L21/687;H01L21/67;G03F7/20

优先权：["20161103 US 62/416,916"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.02.14#实质审查的生效;2023.01.24#公开

摘要：本发明涉及基板装载系统，涉及用于基板转移的方法、系统和设备，包括将托盘操作器装置定位在第一位置，其中i第一托盘的孔洞的切口与基座平台的相应基座重叠，并且ii基座的远端远离第一托盘的顶面延伸；增加第一托盘的顶面与基座平台的顶面之间的距离，以将第一基板从基座转移到由第一托盘的孔洞限定的突片，同时使第二托盘操作器与第二托盘接合；以及增加第二托盘的顶面与卡盘的底面之间的距离，以将第二基板从卡盘转移到由第二托盘限定的突片。

主权项：1.一种压印光刻基板转移方法，所述方法包括：提供包括托盘操作器的托盘操作器装置；提供托盘，所述托盘限定一孔洞并且具有顶面，所述孔洞限定切口和突片；提供具有顶面和底面的基板卡盘；使所述托盘操作器与所述托盘接合；将所述托盘操作器装置定位在第一位置，其中i所述托盘的孔洞的切口与基座平台的相应基座重叠，并且ii所述基座的远端远离所述托盘的顶面延伸；增加所述托盘的顶面与所述基座平台的顶面之间的距离，以将基板从所述基座转移到由所述托盘的孔洞限定的突片；将所述托盘操作器装置从所述第一位置旋转到第二位置，其中由所述托盘的孔洞限定的突片与所述基板卡盘的相应通道重叠；减小所述托盘的顶面与所述基板卡盘的底面之间的距离，以将所述基板从由所述托盘的孔洞限定的突片转移到所述基板卡盘的顶面，同时由所述托盘的孔洞限定的突片设置在所述基板卡盘的相应通道内；以及使所述托盘操作器从所述托盘脱离。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 分子印记公司 基板装载系统

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