申请/专利权人:安徽科瑞思创晶体材料有限责任公司
申请日:2022-11-03
公开(公告)日:2023-01-24
公开(公告)号:CN115637494A
主分类号:C30B29/28
分类号:C30B29/28;C30B15/00
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2023.02.14#实质审查的生效;2023.01.24#公开
摘要:本发明涉及一种TSAG晶体及其生长方法,属于晶体生长技术领域,所述TSAG晶体由TSAG粉体经提拉法制备而成,制备过程中,控制升温速率、晶体转速和提拉速度,同时,晶体旋转设置为顺时针,然后经过缩颈、放肩、等径、收尾脱离操作,制备的TSAG晶体的宏观质量良好,完整无开裂,无包裹物,无宏观缺陷和散射光路,生长过程中选择了合适的转速和提拉速度,同时TSAG晶体旋转设置为顺时针,充分保证了TSAG晶体的均匀生长,TSAG晶体冷却后进行1500℃高温空气退火,使得TSAG晶体内部应力得到充分释放,最终制得的TSAG晶体在280‑1550nm波段范围内透过率达到81.5%。
主权项:1.一种TSAG晶体的生长方法,其特征在于,包括以下步骤:将TSAG纳米粉体放入铱金坩埚中,充入惰性气体保护,利用中频感应加热,以85-90℃h的升温速率升温至2020-2030℃,恒温至TSAG纳米粉体完全融化,形成熔体,以80℃h的降温速率降温至1980-1990℃,恒温,将已固定在籽晶杆上的籽晶引入至熔体液面,稳定45-60min后,熔体以0.1-0.2℃d的速率继续降温,同时,以10-20rpm的旋转速率旋转籽晶杆,晶体开始生长,进行缩颈、放肩、等径、收尾、脱离和降温操作后,得TSAG晶体。
全文数据:
权利要求:
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