申请/专利权人：云谷(固安)科技有限公司

申请日：2020-10-21

公开（公告）日：2023-01-24

公开（公告）号：CN112251716B

主分类号：C23C14/04

分类号：C23C14/04;C23C14/24

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.01.24#授权;2021.02.09#实质审查的生效;2021.01.22#公开

摘要：本申请实施例提供一种掩膜板的制备方法及掩膜板。掩膜板的制备方法包括：固定支撑条，具有开口的框式框架上固定多个支撑条；设置第一掩膜条，提供第一组遮挡条和多条第一掩膜条连接于上边框和下边框设置，并通过第一组遮挡条保持第一掩膜条不产生变形；设置第二掩膜条，提供第二组遮挡条及多条第二掩膜条进行张网对位连接于上边框和下边框，通过第二组遮挡条向上边框和下边框提供相互靠拢的拉力，至少使部分第一掩膜条沿远离框式框架在第一方向X上的中心线的方向变形。旨在改善掩膜板在蒸镀过程中因发生形变而导致蒸镀材料镀偏的问题，提高蒸镀精确度。

主权项：1.一种掩膜板的制备方法，其特征在于，包括：固定支撑条，在具有开口的框式框架上固定多个所述支撑条，以使多个所述支撑条沿第一方向X延伸且在第二方向Y上相互间隔并排排列，所述框式框架包括在所述第一方向X上相对的左边框和右边框，以及在所述第二方向Y上相对的上边框和下边框；设置第一掩膜条，提供第一组遮挡条和多条第一掩膜条连接于所述上边框和下边框设置，并通过所述第一组遮挡条保持所述第一掩膜条不产生变形；设置第二掩膜条，提供第二组遮挡条及多条第二掩膜条进行张网对位连接于所述上边框和所述下边框，通过所述第二组遮挡条向所述上边框和下边框提供相互靠拢的拉力，至少使部分所述第一掩膜条沿远离所述框式框架在所述第一方向X上的中心线的方向变形；使得自中心部位向所述左边框并列分布的所述第一掩膜条由所述中心线向所述左边框方向外凸变形，且越靠近所述左边框的所述第一掩膜条的外凸变形量越大，使得自所述中心部位向所述右边框并列分布的所述第一掩膜条由所述中心线向所述右边框方向外凸变形，且越靠近所述右边框的所述第一掩膜条的外凸变形量越大；所述设置第一掩膜条的步骤中，将所述开口沿所述第一方向X划分为第一区域和第二区域，至少部分的所述第一区域与所述左边框和所述右边框相邻分布，所述第一组遮挡条和多条所述第一掩膜条位于所述第一区域，所述第二组遮挡条和多条所述第二掩膜条位于所述第二区域；所述第一区域和所述第二区域在所述第一方向X上交替分布；所述设置第一掩膜条的步骤中，至少一个所述第二区域位于所述开口在所述第一方向X上的中心部位，其他所述第二区域于所述中心部位两侧对称分布。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 云谷(固安)科技有限公司 掩膜板的制备方法及掩膜板

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