申请/专利权人：长鑫存储技术有限公司

申请日：2021-04-16

公开（公告）日：2023-01-24

公开（公告）号：CN113103144B

主分类号：B24B37/10

分类号：B24B37/10;B24B37/34;B24B41/047;B24B47/12;B24B47/26

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.01.24#授权;2021.07.30#实质审查的生效;2021.07.13#公开

摘要：本发明提供一种定位机构及研磨设备。定位机构用于对研磨设备的研磨垫定位，定位机构包括本体、滑块和弹性件。其中，本体包括：第一台阶和第二台阶，第一台阶具有竖直的第一阶面，第二台阶具有水平的第二阶面和竖直的第三阶面，其中，第一阶面、第二阶面和第三阶面依序连接呈阶梯状。滑块位于第二阶面，滑块背离第一阶面的一侧具有第一弧形面，第一弧形面向靠近第一阶面的方向凹陷，使第一弧形面能够与研磨垫的外周缘配合抵接。弹性件连接于第一阶面与滑块之间，使滑块在第二阶面上相对于第一阶面可滑动。本发明的定位机构能够对不同尺寸的研磨垫进行定位并安装，保证研磨垫与旋转台的同轴度，并且操作简便灵活。

主权项：1.一种定位机构，用于对研磨设备的研磨垫100定位，其特征在于，所述定位机构包括：本体1，包括：第一台阶11，具有竖直的第一阶面111；以及第二台阶12，具有水平的第二阶面121和竖直的第三阶面122，其中，所述第一阶面111、所述第二阶面121和所述第三阶面122依序连接呈阶梯状；滑块2，位于所述第二阶面121，所述滑块2背离所述第一阶面111的一侧具有第一弧形面21，所述第一弧形面21向靠近所述第一阶面111的方向凹陷，使所述第一弧形面21能够与所述研磨垫100的外周缘配合抵接；以及，弹性件3，连接于所述第一阶面111与所述滑块2之间，使所述滑块2在所述第二阶面121上相对于所述第一阶面111可滑动；其中，所述第三阶面122为向靠近所述第一台阶11的方向凹陷的弧形面，所述弧形面的曲率与所述研磨设备的旋转台200的侧壁的曲率相同，使所述第三阶面122能够与所述旋转台200的侧壁配合接触；将所述研磨垫100覆盖于所述旋转台200上，转动所述旋转台200，在旋转的过程中，所述定位机构的位置不变，所述滑块2依靠所述弹性件3的变形往复滑动，以调整所述研磨垫100的位置。

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