买专利,只认龙图腾
首页 专利交易 科技果 科技人才 科技服务 商标交易 会员权益 IP管家助手 需求市场 关于龙图腾
 /  免费注册
到顶部 到底部
清空 搜索

【实用新型】清洗装置_上海积塔半导体有限公司_202222872886.1 

申请/专利权人:上海积塔半导体有限公司

申请日:2022-10-28

公开(公告)日:2023-01-24

公开(公告)号:CN218361189U

主分类号:B08B11/02

分类号:B08B11/02;H01L21/673

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2023.01.24#授权

摘要:本申请涉及一种清洗装置。一种清洗装置,用于清洗晶圆,所述晶圆包括侧表面、周面以及连接于所述周面和每一所述侧表面之间的连接部,所述清洗装置包括清洗池体以及定位组件,清洗池体具有清洗槽。定位组件设置于所述清洗槽内,且包括沿第一方向间隔布设且沿第二方向延伸的至少两个承载板;每一所述承载板的顶部设有用于部分收容所述晶圆的插槽,所述插槽与所述清洗槽相连通,且被构造为能够使所述晶圆的所述连接部抵触所述插槽的侧壁,且使该所述晶圆的所述侧表面和所述周面均与所述插槽的槽壁相离;其中,所述第一方向与所述第二方向彼此相交,且均平行于所述清洗槽的底壁。利用该清洗装置可提高晶圆的清洗效果。

主权项:1.一种清洗装置,用于清洗晶圆,所述晶圆包括侧表面、周面以及连接于所述周面和每一所述侧表面之间的连接部,其特征在于,所述清洗装置包括:清洗池体,具有清洗槽;以及定位组件,设置于所述清洗槽内,且包括沿第一方向间隔布设且沿第二方向延伸的至少两个承载板;每一所述承载板的顶部设有用于部分收容所述晶圆的插槽,所述插槽与所述清洗槽相连通,且被构造为能够使所述晶圆的所述连接部抵触所述插槽的侧壁,且使该所述晶圆的所述侧表面和所述周面均与所述插槽的槽壁相离;其中,所述第一方向与所述第二方向彼此相交,且均平行于所述清洗槽的底壁。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 上海积塔半导体有限公司 清洗装置

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。