申请/专利权人：富联智能工坊(郑州)有限公司

申请日：2022-06-28

公开（公告）日：2023-01-24

公开（公告）号：CN218372492U

主分类号：C23C14/50

分类号：C23C14/50;C23C14/54

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.01.24#授权

摘要：本申请提供了一种变距调节支架及镀膜设备，变距调节支架包括转架组件及至少一个变距组件。转架组件包括定盘、与定盘同轴设置且相对定盘转动的转动盘及至少一个挂杆机构，挂杆机构沿转动盘的径向方向滑动设置于转动盘，转动盘用于驱动挂杆机构绕定盘公转，挂杆机构与定盘连接，以使挂杆机构公转时自转，挂杆机构设置有用于承载工件的承载部；变距组件设置于定盘，挂杆机构通过变距组件与定盘连接，变距组件用于驱动挂杆机构沿转动盘的径向运动，以调整工件在转动过程中其靠近靶材的一侧与靶材之间的距离。本申请提供了一种变距调节支架及镀膜设备，能够提高工件镀膜表面上的镀膜厚度的均匀性，从而提高工件的镀膜质量。

主权项：1.一种变距调节支架，用于调节设置于所述变距调节支架上的工件与靶材之间的距离，所述变距调节支架转动设置于靶材一侧，其特征在于，所述变距调节支架包括：转架组件，包括定盘、与所述定盘同轴设置且相对所述定盘转动的转动盘及至少一个挂杆机构，所述挂杆机构沿所述转动盘的径向方向滑动设置于所述转动盘，所述转动盘用于驱动所述挂杆机构绕所述定盘公转，所述挂杆机构与所述定盘连接，以使所述挂杆机构公转时自转，所述挂杆机构设置有用于承载工件的承载部；及至少一个变距组件，设置于所述定盘，所述挂杆机构通过所述变距组件与所述定盘连接，所述变距组件用于驱动所述挂杆机构沿所述转动盘的径向运动，以调整工件在转动过程中其靠近靶材的一侧与靶材之间的距离。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 富联智能工坊(郑州)有限公司 变距调节支架及镀膜设备

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