申请/专利权人：杭州千驷科技有限公司

申请日：2022-08-16

公开（公告）日：2023-01-24

公开（公告）号：CN218364013U

主分类号：B24B37/00

分类号：B24B37/00;B24B37/11;B24B37/34;B24B55/04;B24B55/06;B24B49/00;B24B47/12;B24B55/12

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.01.24#授权

摘要：本实用新型涉及半导体芯片制造技术领域，公开了一种研磨装置，包括底座和支撑板，所述底座的顶部固定连接有机架，所述机架的顶部固定安装有推杆电机。本实用新型通过推杆电机、驱动电机、支撑板、连接杆、限位孔、固定板、拉力传感器、微处理器、保护罩和打磨片的设置，启动推杆电机推动打磨片与半导体芯片表面接触，从而连接杆向上移动拉动拉力传感器，从而拉力传感器的拉力是打磨片与半导体芯片接触的压力，从而能够精准的控制打磨片与半导体芯片接触的合适压力，进一步的能够提高半导体芯片打磨的效果，在打磨的同时，保护罩罩在打磨的半导体芯片的外侧，从而避免灰尘对周围的半导体芯片造成污染损坏。

主权项：1.一种研磨装置，包括底座1和支撑板18，其特征在于：所述底座1的顶部固定连接有机架5，所述机架5的顶部固定安装有推杆电机7，所述推杆电机7的输出端贯穿于机架5固定连接有连接板8，所述连接板8的底部固定连接有驱动电机6，所述驱动电机6的输出端固定连接有转轴20，所述转轴20的外壁套接有保护罩2，所述支撑板18上开设有通孔19，所述支撑板18通过通孔19套接在转轴20的外壁，所述转轴20的底部固定连接有固定板22，所述支撑板18的顶部左右两侧均开设有限位孔17，两个所述限位孔17内均插接有连接杆23，两个所述连接杆23的顶部均与支撑板18固定连接，两个所述连接杆23的底部之间固定连接有打磨片12，所述支撑板18与固定板22之间固定安装有拉力传感器21，所述机架5上固定安装有微处理器10，所述拉力传感器21的输出端通过导线与微处理器10的输出端连接，所述微处理器10的输出端通过导线与推杆电机7的输出端连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 杭州千驷科技有限公司 一种研磨装置

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