申请/专利权人:南京科兴半导体检测设备有限公司
申请日:2022-08-17
公开(公告)日:2023-01-24
公开(公告)号:CN218380878U
主分类号:G01B11/14
分类号:G01B11/14
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2023.01.24#授权
摘要:本实用新型公开了一种用于夹具的误差精密测量装置,包括安装架,所述安装架左右两侧卡接安装有丝杆电机,所述丝杆电机输出侧设置有限位套板,所述限位套板前端活动插有限位插口,所述限位插口内部活动插有电机,所述电机输出端键连接安装有控制盒,所述控制盒前端固定安装有套管,所述套管内部转动安装有内转动盘,所述内转动盘上表面栓接安装有激光测距仪。丝杆电机控制两侧限位套板移动移动,使安装架前侧左右两组激光测距仪的间距能够改变,使激光测距仪在对夹具使用精度检测时能够更加灵活的适应不同夹具规格,电机和控制盒来控制激光测距仪的使用角度,能够使激光测距仪整体适应不同夹具和不同的检测角度。
主权项:1.一种用于夹具的误差精密测量装置,其特征在于:包括安装架(1),所述安装架(1)左右两侧卡接安装有丝杆电机(5),所述丝杆电机(5)输出侧设置有限位套板(9),所述限位套板(9)前端活动插有限位插口(11),所述限位插口(11)内部活动插有电机(12),所述电机(12)输出端键连接安装有控制盒(13),所述控制盒(13)前端固定安装有套管(16),所述套管(16)内部转动安装有内转动盘(18),所述内转动盘(18)上表面栓接安装有激光测距仪(21)。
全文数据:
权利要求:
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