申请/专利权人：江西兆驰半导体有限公司

申请日：2022-08-17

公开（公告）日：2023-01-24

公开（公告）号：CN218372483U

主分类号：C23C14/24

分类号：C23C14/24;C23C14/50

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.01.24#授权

摘要：本实用新型提供一种蒸镀治具，包括固定盘；三组爪板以环形阵列的形式固设于固定盘上，爪板弯折设置；三组镀锅的中心处通过滚轮连接在爪板的端部，通过弯折设置的爪板，以使连接在爪板端部上相邻的镀锅之间的距离得以调节；多层安装孔以环形阵列的形式设置在镀锅上，每一层安装孔的数量以镀锅的圆心为中心向外递增；载盘固设于安装孔上。本实用新型中的蒸镀治具通过将爪板以预设的角度进行弯折，从而使得连接在爪板一端的镀锅之间的间隙能够增大，进而能够扩大镀锅的面积，而在载盘上以环形阵列的方式设置有多层安装孔，使得镀锅上的安装孔的数量能够有效的增多，从而能够有效的提升镀锅上的载盘数量。

主权项：1.一种蒸镀治具，其特征在于，包括：固定盘；三组爪板，以环形阵列的形式固设于所述固定盘上，所述爪板弯折设置；三组镀锅，三组所述镀锅的中心处通过滚轮连接在所述爪板的端部，通过弯折设置的所述爪板，以使连接在所述爪板端部上相邻的所述镀锅之间的距离得以调节；多层安装孔，以环形阵列的形式设置在所述镀锅上，每一层所述安装孔的数量以所述镀锅的圆心为中心向外递增；载盘，固设于所述安装孔上。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江西兆驰半导体有限公司 一种蒸镀治具

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