申请/专利权人：湖南泰坦未来科技有限公司

申请日：2022-09-14

公开（公告）日：2023-01-24

公开（公告）号：CN218372510U

主分类号：C23C16/455

分类号：C23C16/455

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.01.24#授权

摘要：本实用新型公开了一种化学气相沉积炉，包括反应室，反应室的两个相对的端部分别连接有与反应室内部连通的进气管和出气管，反应室内设有相对设置并使反应室内的气体以层流的形式流动的进气装置和出气装置，进气装置与进气管连接，出气装置与出气管连接。本实用新型通过进气装置和出气装置能控制反应室内气体的流动，由于进气管和出气管相对设置，与进气管连通的进气装置和出气管连通的出气装置也是相对设置，从而能对气体直接进行分气控制，使气体在反应室内的流动呈现层流状态，从而避免气体湍流和紊流的发生，进而解决了涂层表面质量差，涂层厚度不均匀的问题。

主权项：1.一种化学气相沉积炉，包括反应室（1），所述反应室（1）的两个相对的端部分别连接有与反应室（1）内部连通的进气管（2）和出气管（3），其特征在于，所述反应室（1）内设有相对设置并使反应室（1）内的气体以层流的形式流动的进气装置（4）和出气装置（5），所述进气装置（4）与进气管（2）连接，所述出气装置（5）与出气管（3）连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 湖南泰坦未来科技有限公司 一种化学气相沉积炉

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