申请/专利权人：中国地质大学(武汉)

申请日：2022-10-25

公开（公告）日：2023-02-03

公开（公告）号：CN115684329A

主分类号：G01N27/626

分类号：G01N27/626;G01N1/28

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.02.21#实质审查的生效;2023.02.03#公开

摘要：本发明公开了一种多波长激光同轴微区原位剥蚀进样系统，该系统的多波长激光器设有多个出光口，用于输出多路不同波长的激光；各出光口前均设有扩束镜，扩束后的多路激光经由分束镜或反射镜、分束镜后重合在同一条光轴上，并由聚焦镜进行聚焦；剥蚀池位于三维移动平台上且其内置有样品；三维移动平台和相机均与机器视觉控制模块相连，由机器视觉控制模块控制三维移动平台移动实现激光焦点置于样品表面的选定位置，以完成剥蚀激光的自动聚焦和剥蚀点位置的自由选取及自动调整；载气装置连通剥蚀池，实现气溶胶粒子传输。本发明可使多光路激光器实现单光路输出多种波长，并实现对样品的自动聚焦剥蚀和微区原位剥蚀进样。

主权项：1.一种多波长激光同轴微区原位剥蚀进样系统，其特征在于，该系统包括多波长激光器、扩束镜、反射镜、分束镜、聚焦镜、剥蚀池、三维移动平台、相机、机器视觉控制模块和载气装置；其中，多波长激光器设有多个出光口，用于输出多路不同波长的激光；各出光口前均设有扩束镜，扩束后的多路激光经由分束镜或反射镜、分束镜重合在同一条光轴上，并由聚焦镜进行聚焦；剥蚀池位于三维移动平台上且其内置有样品；三维移动平台和相机均与机器视觉控制模块相连，由机器视觉控制模块控制三维移动平台移动实现激光焦点置于样品表面的选定位置，并实现剥蚀点自由选取和定位，以完成剥蚀激光的自动聚焦和微区原位剥蚀采样；载气装置连通剥蚀池，以实现微区原位剥蚀进样。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国地质大学(武汉) 多波长激光同轴微区原位剥蚀进样系统

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