申请/专利权人：川崎重工业株式会社

申请日：2021-05-31

公开（公告）日：2023-03-14

公开（公告）号：CN115803864A

主分类号：H01L21/677

分类号：H01L21/677;B25J15/00

优先权：["20200609 JP 2020-100113"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.03.31#实质审查的生效;2023.03.14#公开

摘要：本发明公开了一种基板保持装置，该基板保持装置的可维护性得到了提高。基板保持装置2包括基座3和多个保持体5，该多个保持体5被安装在基座3且保持基板。多个保持体5在规定的排列方向排列，且与基准面R平行地并且可装卸地安装在基座3，该基准面R是与排列方向交叉的面。

主权项：1.一种基板保持装置，其特征在于：所述基板保持装置包括基座以及多个保持体，所述多个保持体被安装在所述基座且保持基板，所述多个保持体在规定的排列方向排列着，与基准面平行地且可装卸地安装在所述基座，该基准面是与所述排列方向交叉的虚拟面。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 川崎重工业株式会社 基板保持装置

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