申请/专利权人：朗姆研究公司

申请日：2021-06-24

公开（公告）日：2023-03-14

公开（公告）号：CN115803470A

主分类号：C23C8/08

分类号：C23C8/08

优先权：["20200630 US 63/046,088"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.03.31#实质审查的生效;2023.03.14#公开

摘要：一种实施氟转化工艺以施加涂层至衬底处理系统的部件的表面的方法包括：将所述部件设置在处理室内；设定所述处理室的至少一个工艺参数；选择含氟气体以与所述部件的表面上的所述部件的所述基材进行反应；以及使所述含氟气体流至所述处理室中持续第一时段。所述含氟气体与所述部件的所述表面上的所述基材进行反应，以在所述表面上形成所述涂层，所述涂层由所述部件的所述基材和氟构成。

主权项：1.一种实施氟转化工艺以施加涂层至衬底处理系统的部件的表面的方法，所述方法包括：将所述部件设置在处理室内，其中所述部件包含基材；设定所述处理室的至少一个工艺参数；选择含氟气体，其中选择所述含氟气体以与所述部件的表面上的所述基材进行反应；以及使所述含氟气体流至所述处理室中持续第一时段，其中所述含氟气体与所述部件的所述表面上的所述基材进行反应，以形成所述涂层在所述表面上，其中所述涂层由i所述部件的所述基材和ii氟构成。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 朗姆研究公司 具有氟化铝等离子体暴露表面的远程等离子体源喷头组件

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