买专利,只认龙图腾
首页 专利交易 科技果 科技人才 科技服务 商标交易 会员权益 IP管家助手 需求市场 关于龙图腾
 /  免费注册
到顶部 到底部
清空 搜索

【发明公布】间歇性停滞流_朗姆研究公司_202180047012.8 

申请/专利权人:朗姆研究公司

申请日:2021-06-30

公开(公告)日:2023-03-14

公开(公告)号:CN115803475A

主分类号:C23C16/44

分类号:C23C16/44

优先权:["20200701 US 62/705,519"]

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2023.03.31#实质审查的生效;2023.03.14#公开

摘要:一种从反应室清除残留沉积物的方法包括从远程等离子体源RPS通过直接输送将清洗气体供应至所述反应室。所述清洗气体在所述反应室中形成多个气流流线。每个流线起始于用于接收清洗气体的注入点,并终止于耦接至用于排空清洗气体的前线的室泵口。修改所述清洗气体的流动特性,以使所述气流流线的至少一部分重定向,以在所述反应室的内周附近循环,从而清除残留沉积物或加强清洗物向待清洁表面扩散。所述内周沿着所述反应室的一个或多个垂直面设置,所述一个或多个垂直面正交于包括所述注入点的水平面。

主权项:1.一种从反应室中清除残留沉积物的方法,所述方法包括:从远程等离子体源RPS通过直接输送将清洗气体供应至所述反应室,所述清洗气体在所述反应室内形成多个气流流线,其中,所述多个气流流线中的每个气流流线起始于注入点并终止于室泵口,所述注入点流体耦接至所述RPS以接收所述清洗气体,并且所述室泵口耦接至前线以排空所述反应室中的清洗气体;并且修改所述清洗气体的至少一个流动特性,以使所述多个气流流线中的至少一部分重定向,以在所述反应室的内周附近循环,从而清除所述残留沉积物,所述内周沿着所述反应室的一个或多个垂直面设置,所述一个或多个垂直面正交于包括所述注入点的所述反应室的水平面。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 朗姆研究公司 间歇性停滞流

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。