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【发明公布】信息处理方法以及信息处理装置_东京毅力科创株式会社_202180047096.5 

申请/专利权人:东京毅力科创株式会社

申请日:2021-06-18

公开(公告)日:2023-03-14

公开(公告)号:CN115803849A

主分类号:H01L21/02

分类号:H01L21/02

优先权:["20200702 JP 2020-114579"]

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2023.04.21#实质审查的生效;2023.03.14#公开

摘要:本发明涉及信息处理方法以及信息处理装置。信息处理方法获取在对基板的周期处理中测定出的时间序列数据组。信息处理方法针对获取到的时间序列数据组所包含的每个时间序列数据,计算周期处理的各周期的统计值。信息处理方法生成基于计算出的统计值的统计数据。信息处理方法将生成的统计数据或者时间序列数据分割为规定的区间。信息处理方法基于分割后的统计数据或者时间序列数据,针对每个区间计算代表值。

主权项:1.一种信息处理方法,具有:获取在对基板的周期处理中测定出的时间序列数据组;针对获取到的上述时间序列数据组所包含的每个时间序列数据,计算上述周期处理的各周期的统计值;生成基于计算出的上述统计值的统计数据;将生成的上述统计数据或者上述时间序列数据分割为规定的区间;以及基于分割后的上述统计数据或者上述时间序列数据,针对每个上述区间计算代表值。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 东京毅力科创株式会社 信息处理方法以及信息处理装置

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