申请/专利权人：华芯半导体科技有限公司;华芯半导体研究院(北京)有限公司

申请日：2022-12-07

公开（公告）日：2023-03-14

公开（公告）号：CN115783477A

主分类号：B65D25/10

分类号：B65D25/10;B65D81/34

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.03.31#实质审查的生效;2023.03.14#公开

摘要：本发明公开了一种MO源瓶固定装置及MO源瓶温控装置，所述MO源瓶固定装置包括槽体、支撑件和至少两个固定组件，支撑件和固定组件均位于槽体的容纳腔中，固定组件包括承托固定板和连接杆，连接杆的外端铰接在槽体上，连接杆的内端与承托固定板铰接，支撑件连接每个承托固定板，多个承托固定板和支撑件围成能够容纳MO源瓶的容纳空间，支撑件能够伸缩，以使得连接杆围绕其外端转动时，承托固定板能够相互接近或者远离。本发明提供的MO源瓶固定装置及MO源瓶温控装置可保证在使用不同规格的源瓶、在不同安装情形下的稳定性要求，保证了源瓶使用过程中外部稳定，达到出源稳定的目的。

主权项：1.一种MO源瓶固定装置，其特征在于,包括槽体（1）、支撑件和至少两个固定组件，所述支撑件和固定组件均位于所述槽体（1）的容纳腔中，所述固定组件包括承托固定板（2）和连接杆（3），所述连接杆（3）的外端铰接在所述槽体（1）上，所述连接杆（3）的内端与所述承托固定板（2）铰接，所述支撑件连接每个所述承托固定板（2），多个所述承托固定板（2）和支撑件围成能够容纳MO源瓶（25）的容纳空间，所述支撑件能够伸缩，以使得所述连接杆（3）围绕其外端转动时，所述承托固定板（2）能够相互接近或者远离。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 华芯半导体科技有限公司;华芯半导体研究院(北京)有限公司 MO源瓶固定装置及MO源瓶温控装置

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