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【发明公布】成膜装置_佳能特机株式会社_202211069068.6 

申请/专利权人:佳能特机株式会社

申请日:2022-09-02

公开(公告)日:2023-03-14

公开(公告)号:CN115799129A

主分类号:H01L21/677

分类号:H01L21/677;H01L21/687;H10K71/00;C23C14/50;C23C14/24;C23C14/04

优先权:["20210906 JP 2021-144913"]

专利状态码:在审-公开

法律状态:2023.03.14#公开

摘要:本发明涉及成膜装置,能够应对基板的大型化。本发明的成膜装置具备:第一输送构件,所述第一输送构件输送基板;成膜室,所述成膜室对所述基板进行成膜;以及第二输送构件,所述第二输送构件从所述第一输送构件接收所述基板,并将接收到的所述基板向所述成膜室输送,所述第二输送构件具备:保持构件,所述保持构件从所述基板的上侧保持所述基板;以及移动构件,所述移动构件使所述保持构件在沿着所述基板的成膜面的方向上移动。

主权项:1.一种成膜装置,其特征在于,所述成膜装置具备:第一输送构件,所述第一输送构件输送基板;成膜室,所述成膜室对所述基板进行成膜;以及第二输送构件,所述第二输送构件从所述第一输送构件接收所述基板,并将接收到的所述基板向所述成膜室输送,所述第二输送构件具备:保持构件,所述保持构件从所述基板的上侧保持所述基板;以及移动构件,所述移动构件使所述保持构件在沿着所述基板的成膜面的方向上移动。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 佳能特机株式会社 成膜装置

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