申请/专利权人：日立金属株式会社

申请日：2022-09-06

公开（公告）日：2023-03-14

公开（公告）号：CN115787065A

主分类号：C30B15/00

分类号：C30B15/00;C30B27/02;C30B29/36;C30B15/10;C30B15/14;C30B15/20

优先权：["20210910 JP 2021-147905","20220225 JP 2022-028347","20220708 JP 2022-110341"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.02#实质审查的生效;2023.03.14#公开

摘要：本发明要解决的技术问题在于减少溶液内所产生的杂晶。本发明解决技术问题的方案在于提供一种单晶制造方法，其包括：以使与坩埚的侧面接触的溶液的温度高于与坩埚的底面接触的溶液的温度的方式，对溶液进行加热的第一加热工序；和以使与坩埚的底面接触的溶液的温度高于与坩埚的侧面接触的溶液的温度的方式，对溶液进行加热的第二加热工序，第一加热工序和第二加热工序能够交替切换。

主权项：1.一种单晶制造方法，其特征在于，包括：a通过使前端部装有晶种的轴向下方移动而使所述晶种的下表面与在坩埚中收纳的含有碳和硅的溶液接触的工序；和b使由碳化硅形成的单晶在所述晶种的所述下表面生长的工序，所述单晶制造方法包括：c1以使与所述坩埚的侧面接触的所述溶液的温度高于与所述坩埚的底面接触的所述溶液的温度的方式，对所述溶液进行加热的第一加热工序；和c2以使与所述坩埚的所述底面接触的所述溶液的温度高于与所述坩埚的所述侧面接触的所述溶液的温度的方式，对所述溶液进行加热的第二加热工序，所述第一加热工序和所述第二加热工序交替切换。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 日立金属株式会社 单晶制造方法、单晶制造装置和坩埚

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