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【发明公布】低温泵_爱德华兹真空泵有限责任公司_202180048705.9 

申请/专利权人:爱德华兹真空泵有限责任公司

申请日:2021-07-06

公开(公告)日:2023-03-14

公开(公告)号:CN115803525A

主分类号:F04B37/08

分类号:F04B37/08

优先权:["20200708 GB 2010468.3"]

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2023.03.31#实质审查的生效;2023.03.14#公开

摘要:公开一种低温泵,其包括:泵入口;两级制冷机;第一级阵列,所述第一级阵列热耦合到所述两级制冷机的第一级;以及低温面板结构,所述低温面板结构耦合到所述两级制冷机的第二级。所述低温面板结构包括至少三个扁平面板。所述第一级阵列安装在所述泵入口与所述低温面板结构之间,并且包括多个板条,所述多个板条各自被安装成使得所述多个板条中的每一者的最靠近于所述低温面板结构的一侧相对于所述至少三个扁平面板中的对应一者大致对准且纵向偏移。

主权项:1.一种低温泵,其包括:泵入口;两级制冷机;第一级阵列,所述第一级阵列热耦合到所述两级制冷机的第一级;以及低温面板结构,所述低温面板结构耦合到所述两级制冷机的第二级;其中所述低温面板结构包括至少三个扁平面板;所述第一级阵列安装在所述泵入口与所述低温面板结构之间,并且包括多个板条,所述多个板条各自被安装成使得所述多个板条中的每一者的最靠近于所述低温面板结构的一侧相对于所述至少三个扁平面板中的对应一者大致对准且纵向偏移。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 爱德华兹真空泵有限责任公司 低温泵

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