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【发明公布】基板异物检查装置以及基板异物检查方法_CKD株式会社_202180048866.8 

申请/专利权人:CKD株式会社

申请日:2021-09-22

公开(公告)日:2023-03-14

公开(公告)号:CN115803611A

主分类号:G01N21/956

分类号:G01N21/956

优先权:["20201203 JP 2020-200874"]

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2023.03.31#实质审查的生效;2023.03.14#公开

摘要:能够更简便地非常高精度地进行异物的检测。针对具有从输入的图像数据中提取特征量的编码部、以及从该特征量重构图像数据的解码部的神经网络,使用仅将无异物的印刷基板涉及的图像数据作为学习数据进行学习而生成的AI模型100,获取将由相机32D得到的图像数据作为原始图像数据输入AI模型100而重构的图像数据作为重构图像数据。对原始图像数据和重构图像数据进行比较,基于比较结果来判定印刷基板中有无异物。由于不需要准备用于比较的主基板,因此异物检查变得简便。另外,通过在比较的两图像数据中使印刷基板的形状、外观分别变得大致相同等,能够非常高精度地进行异物的检测。

主权项:1.一种基板异物检查装置,检查印刷有膏状焊料的印刷基板中有无异物,所述基板异物检查装置的特征在于,具备:图像数据获取单元,其能够获取包含膏状焊料的印刷部分的所述印刷基板中的规定的被检查区域的图像数据;识别单元,其针对具有从输入的图像数据中提取特征量的编码部以及从该特征量重构图像数据的解码部的神经网络,仅将无异物的所述印刷基板中的所述被检查区域涉及的图像数据作为学习数据进行学习而生成;重构图像数据获取单元,其能够获取将由所述图像数据获取单元得到的图像数据作为原始图像数据输入到所述识别单元而重构的图像数据作为重构图像数据;以及比较单元,其能够对所述原始图像数据和所述重构图像数据进行比较,构成为能够基于所述比较单元的比较结果来判定所述印刷基板中有无异物。

全文数据:

权利要求:

百度查询: CKD株式会社 基板异物检查装置以及基板异物检查方法

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