申请/专利权人：鹏城半导体技术(深圳)有限公司

申请日：2022-11-16

公开（公告）日：2023-03-14

公开（公告）号：CN115786878A

主分类号：C23C16/44

分类号：C23C16/44;C23C16/54

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.03.31#实质审查的生效;2023.03.14#公开

摘要：本发明公开一种插板阀以及立式双室热丝CVD系统，涉及化学沉积镀膜设备技术领域，两个连接板一端由开口伸入至壳腔内，且分别与壳腔内两个相对的侧壁相连。两个冷水板间隔设置于两个连接板之间；其中，连接板靠近冷水板的一侧开设有两排滑槽，每排滑槽包括间隔设置的第一凹槽和第二凹槽；第一凹槽靠近第二凹槽的一端弯曲形成第一弧形段。第二凹槽远离第一凹槽的一端弯曲形成第二弧形段。冷水板相对的两个侧壁分别设置至少两个滑杆，且滑杆一端与冷水板相连，滑杆另一端伸入至第一凹槽内滑动或伸入至第二凹槽内滑动。气缸与外壳相连，气缸具有气缸杆，气缸杆伸入至壳腔内与两个冷水板铰接。本发明用于镀膜设备隔离真空腔室。

主权项：1.一种插板阀，其特征在于，包括：外壳，开设有开口和与所述开口相连通的壳腔；两个连接板，一端由所述开口伸入至所述壳腔内，且分别与所述壳腔内两个相对的侧壁相连；两个冷水板，间隔设置于所述两个连接板之间；其中，所述连接板靠近所述冷水板的一侧开设有两排滑槽，每排滑槽包括间隔设置的第一凹槽和第二凹槽；所述第一凹槽靠近所述第二凹槽的一端朝向远离另一排滑槽的一侧弯曲形成第一弧形段；所述第二凹槽远离所述第一凹槽的一端朝向远离另一排滑槽的一侧弯曲形成第二弧形段；多个滑杆，所述冷水板相对的两个侧壁分别设置至少两个所述滑杆，且所述滑杆一端与所述冷水板相连，所述滑杆另一端伸入至所述第一凹槽内滑动或伸入至所述第二凹槽内滑动；气缸，与所述外壳相连，所述气缸具有气缸杆，所述气缸杆伸入至所述壳腔内与所述两个冷水板铰接，所述气缸杆的延伸方向和两排滑槽延伸方向一致。

全文数据：

权利要求：

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