申请/专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

申请日：2022-11-18

公开（公告）日：2023-03-14

公开（公告）号：CN115790373A

主分类号：G01B11/00

分类号：G01B11/00;G01B11/26

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.03.31#实质审查的生效;2023.03.14#公开

摘要：本发明提供一种色散共焦测量系统及其测量方法，色散共焦测量系统通过第一测量单元进行位置测量，第二测量单元进行倾斜角度测量，在测量位置信息的同时，实时测量待测物待测点处法向倾斜角度。色散共焦测量方法依据采集的对应共焦波长的光强分布数据，以质心法获得反射光束光斑的质心位置，结合首先确定的位置信息，通过数学模型计算出二维倾斜角度，实现了位置与倾角的实时检测，且具有低成本、高精度、测量范围广、动态响应速度快、信噪比高等优势。

主权项：1.一种色散共焦测量系统，其特征在于，包括第一测量单元和第二测量单元；其中，所述第一测量单元包括依次沿光路设置的光源组件、第一分束镜、第二分束镜、色散物镜和信号接收组件；所述光源组件发出的光束经所述第一分束镜反射、第二分束镜透射和所述色散物镜透射后，入射至待测物表面，经待测物表面反射回的光束依次经所述色散物镜、所述第二分束镜和所述第一分束镜透射至所述信号接收组件，根据所述信号接收组件所接收到的光谱信号进行分析，获得所述待测物表面待测点的位置信息；所述第二测量单元包括依次沿光路设置的聚焦透镜、第三分束镜、第一柱面镜、第一线阵探测器、第二柱面镜和第二线阵探测器；经待测物表面反射回的光束依次经所述色散物镜透射、所述第二分束镜反射至所述聚焦透镜进行准直后，入射至所述第三分束镜进行分光，透射光束依次入射至所述第一柱面镜和所述第一线阵探测器，反射光束依次入射至所述第二柱面镜和第二线阵探测器，采集所述第一线阵探测器和所述第二线阵探测器的数据，通过对所述数据进行分析，获取所述待测物表面待测点的倾斜角度信息；结合所述第一测量单元获得的待测物表面待测点的位置信息，进而同时获取所述待测物的表面位置信息和倾角信息。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 色散共焦测量系统及其测量方法

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