申请/专利权人：东莞市友辉光电科技有限公司

申请日：2022-11-21

公开（公告）日：2023-03-14

公开（公告）号：CN115793405A

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20;G03F9/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.01.09#授权;2023.03.31#实质审查的生效;2023.03.14#公开

摘要：本发明公开了一种曝光机，包括机台、精对位机构及曝光装置；机台包括工作台、与工作台旋转连接的转盘、及沿转盘周向间隔设置的若干位姿调整承载台，工作台沿转盘边缘间隔设置有入料工位、精对位工位、曝光工位及出料工位，位姿调整承载台用于承载工件并调整工件的X轴与Y轴位置；精对位机构安装在精对位工位，用于对工件的位置进行识别，并配合位姿调整承载台对工件进行定位纠偏；曝光装置包括光源机构与铬版调整机构，光源机构设置在工作台一侧，用于提供工件曝光所需光源，铬版调整机构安装在曝光工位，用于调整铬版投影在工件上位置及铬版与工件之间的距离；本曝光机可以实现自动化生产，具有定位精度高，机台整体布局合理的优点。

主权项：1.一种曝光机，其特征在于：包括机台、精对位机构及曝光装置；所述机台包括工作台、与所述工作台旋转连接的转盘、及沿所述转盘周向间隔设置的若干位姿调整承载台，所述工作台沿所述转盘边缘间隔设置有入料工位、精对位工位、曝光工位及出料工位，所述位姿调整承载台用于承载工件并调整工件的X轴与Y轴位置；所述精对位机构安装在所述精对位工位，用于对工件的位置进行识别，并配合位姿调整承载台对工件进行定位纠偏；所述曝光装置包括光源机构与铬版调整机构，所述光源机构设置在所述工作台一侧，用于提供工件曝光所需光源，所述铬版调整机构安装在所述曝光工位，用于调整铬版投影在工件上位置及铬版与工件之间的距离。

全文数据：

权利要求：

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