申请/专利权人：湘潭宏大真空技术股份有限公司

申请日：2022-11-30

公开（公告）日：2023-03-14

公开（公告）号：CN115790412A

主分类号：G01B11/06

分类号：G01B11/06

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.10.20#授权;2023.03.31#实质审查的生效;2023.03.14#公开

摘要：本发明提供了一种膜厚测试和均匀性调节方法，包括：步骤S1：在待测样品上选定多个测试点；步骤S2：获取多个测试点的反射率或透过率光谱图；步骤S3：选定参考波长、参考光谱和波长点。步骤S4：通过光学模拟软件模拟光谱曲线和光谱曲线对应的膜厚，得出膜厚和选定的波长点对应的反射率或透过率之间的推算公式；步骤S5：根据推算公式计算选定的波长点下所有测试点的膜厚。本发明克服了大批量或大尺寸样品膜厚测试耗时长、膜厚检测时样品破坏性等问题，通过获得的膜厚和波长的推算公式可快速获得所有测试点的膜厚，膜厚测试耗时大大缩短，给膜厚的均匀性调节留出了足够的时间。

主权项：1.一种膜厚测试方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤S1：在待测样品上选定多个测试点；步骤S2：获取多个测试点的反射率或透过率光谱图；步骤S3：选定参考波长、参考光谱和波长点，参考波长为光谱图中各测试点的光谱曲线中有线性规则的一段波长范围，参考光谱为参考波长对应的所有光谱曲线段中的居中曲线所在的光谱曲线，波长点为参考波长中的一个具体波长点值。步骤S4：通过光学模拟软件模拟光谱曲线和光谱曲线对应的膜厚，得出膜厚和选定的波长点对应的反射率或透过率之间的推算公式；步骤S5：根据推算公式计算选定的波长点下所有测试点的膜厚。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 湘潭宏大真空技术股份有限公司 一种膜厚测试和均匀性调节方法

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