申请/专利权人：厦门特盈自动化科技有限公司

申请日：2022-12-02

公开（公告）日：2023-03-14

公开（公告）号：CN115799115A

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01L21/677;H01L21/683;H01L21/687;H01L21/66

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.03.31#实质审查的生效;2023.03.14#公开

摘要：本发明提供了一种全自动晶圆扩膜设备，包括机台和多轴机械手，机械手安装在机台上，机台上还设置有大小铁环上料装置、大小铁环下料装置和扩膜机，扩膜机包括大小铁环压紧组件、顶升扩膜组件和切膜机构，大小铁环压紧组件设置于顶升扩膜组件的上方，切膜机构环绕顶升扩膜组件设置；通过大小铁环上料装置上料，配合多轴机械手将大小铁环上料装置上小铁环装入大小铁环压紧组件上，将大铁环放置于顶升扩膜组件上，通过大小铁环压紧组件和顶升扩膜组件配合将大铁环上的膜均匀扩张，并转换至小铁环上，切膜机构切割完成转换；通过多轴机械手将扩膜后的大铁环、小铁环运送至大小铁环下料装置完成下料，实现扩膜过程的全自动化。

主权项：1.一种全自动晶圆扩膜设备，包括机台和多轴机械手，所述多轴机械手安装在所述机台上，其特征在于：还包括扩膜机，所述机台上还设置有大小铁环上料装置、大小铁环下料装置，所述扩膜机包括大小铁环压紧组件、顶升扩膜组件和切膜机构，所述大小铁环压紧组件设置于所述顶升扩膜组件的上方，所述切膜机构环绕所述顶升扩膜组件设置；通过所述大小铁环上料装置上料，配合所述多轴机械手将大小铁环上料装置上的小铁环装入所述大小铁环压紧组件上，将大铁环放置于所述顶升扩膜组件上，通过所述大小铁环压紧组件和所述顶升扩膜组件配合将大铁环上的膜均匀扩张，并转换至小铁环上，切膜机构切割完成转换；通过多轴机械手将扩膜后的大铁环、小铁环运送至大小铁环下料装置完成下料。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 厦门特盈自动化科技有限公司 一种全自动晶圆扩膜设备

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