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【发明授权】光学检测系统以及光学检测方法_合肥维信诺科技有限公司_202010037189.7 

申请/专利权人:合肥维信诺科技有限公司

申请日:2020-01-14

公开(公告)日:2023-03-14

公开(公告)号:CN111157541B

主分类号:G01N21/95

分类号:G01N21/95;G01N21/01

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2023.03.14#授权;2020.06.09#实质审查的生效;2020.05.15#公开

摘要:本发明公开了一种光学检测系统以及光学检测方法,光学检测系统包括:入射组件,能够提供入射光线;光线调制装置,设置在入射光线的传输光路上,光线调制装置包括呈阵列分布的多个微反射镜,各微反射镜能够反射入射光线使得入射光线照射到待测基板的表面。且光线调制装置被配置为根据待测基板的表面形状调制入射光线在待测基板表面的入射角度,入射光线经待测基板反射形成测试光线;以及图像采集装置,设置在测试光线的传输光路上,图像采集装置能够采集测试光线并转化成待测基板的灰度图。本发明提供的光学检测系统以及光学检测方法,能够提高光学检测系统检测的准确性。

主权项:1.一种光学检测系统,其特征在于,包括:入射组件,能够提供入射光线;光线调制装置,设置在所述入射光线的传输光路上,所述光线调制装置包括呈阵列分布的多个微反射镜,各所述微反射镜能够反射所述入射光线使得所述入射光线照射到待测基板的表面,且所述光线调制装置被配置为根据所述待测基板的表面形状调制所述入射光线在所述待测基板表面的入射角度,以减少所述入射光线照射到所述待测基板表面时产生的漫反射,所述入射光线经所述待测基板反射形成测试光线;以及图像采集装置,设置在所述测试光线的传输光路上,所述图像采集装置能够采集所述测试光线并转化成所述待测基板的灰度图,其中,所述图像采集装置采集的所述测试光线的光线数量在预定的范围内。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 合肥维信诺科技有限公司 光学检测系统以及光学检测方法

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