申请/专利权人：江苏本川智能电路科技股份有限公司

申请日：2020-01-16

公开（公告）日：2023-03-14

公开（公告）号：CN111190330B

主分类号：G03F7/30

分类号：G03F7/30;H05K3/06

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.03.14#授权;2020.06.16#实质审查的生效;2020.05.22#公开

摘要：本发明公开了一种DES线显影装置，包括串联设置的第一显影腔室、第二显影腔室和第三显影腔室，所述第一显影腔室设置有若干列扇形的第一喷嘴，相邻两列第一喷嘴的安装高度不同；所述第二显影腔室内设置有若干列锥形的第二喷嘴，相邻两列的第二喷嘴交错设置；所述第三显影腔室顶部设置有圆盘，圆盘上均匀设置有若干个柱形的第三喷嘴，第三显影腔室侧壁设置有排气管，第三显影腔室底部设置有排液管；第一喷嘴底部设置有封板，封板上开设有狭缝，封板上设置有若干个喷头，喷头中心设置有一个主流道，主流道的侧壁均匀连接有若干个副流道。本发明能够改进现有技术的不足，提高了显影液与油膜接触的充分性和均匀度。

主权项：1.一种DES线显影装置，包括串联设置的第一显影腔室（1）、第二显影腔室（2）和第三显影腔室（3），其特征在于：所述第一显影腔室（1）设置有若干列扇形的第一喷嘴（4），相邻两列第一喷嘴（4）的安装高度不同；所述第二显影腔室（2）内设置有若干列锥形的第二喷嘴（5），相邻两列的第二喷嘴（5）交错设置；所述第三显影腔室（3）顶部设置有圆盘（6），圆盘（6）上均匀设置有若干个柱形的第三喷嘴（7），第三显影腔室（3）侧壁设置有排气管（8），第三显影腔室（3）底部设置有排液管（9）；第一喷嘴（4）底部设置有封板（10），封板（10）上开设有狭缝（11），封板（10）上设置有若干个喷头（12），喷头（12）中心设置有一个主流道（13），主流道（13）的侧壁均匀连接有若干个副流道（14），副流道（14）与主流道（13）的轴线夹角为20～45°，喷头（12）底部设置有凹槽（15），凹槽（15）内侧螺纹连接有调节塞（16），调节塞（16）上环形设置有若干个通孔（17），调节塞（16）中心设置有芯柱（18），芯柱（18）位于主流道（13）内，芯柱（18）与主流道（13）间隙配合。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江苏本川智能电路科技股份有限公司 一种DES线显影装置及显影方法

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