申请/专利权人：中国恩菲工程技术有限公司;洛阳中硅高科技有限公司

申请日：2021-03-12

公开（公告）日：2023-03-14

公开（公告）号：CN112944205B

主分类号：F17C5/06

分类号：F17C5/06;F17C13/02;F17D1/04;F17D3/01;F17D5/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.03.14#授权;2021.07.02#实质审查的生效;2021.06.11#公开

摘要：本发明公开了一种氯硅烷充装系统和氯硅烷充装方法，氯硅烷充装系统包括充装管、保护气源、氯硅烷储罐、气液分离装置、真空泵和冷却装置，充装管具有保护气口、氯硅烷进口、抽真空口和充装接口，保护气源与保护气口连通，氯硅烷储罐与氯硅烷进口连通，气液分离装置设在充装管上，气液分离装置位于氯硅烷进口和充装接口之间，真空泵与抽真空口连通，冷却装置设在充装管上且位于气液分离装置和充装接口之间，冷却装置用于将气态氯硅烷冷却为液态氯硅烷并分离和排出氯硅烷中的不凝气体。本发明的氯硅烷充装系统，避免了氯硅烷中杂质和颗粒度超标的情况，提升了氯硅烷的充装品质。

主权项：1.一种氯硅烷充装系统，其特征在于，包括：充装管，所述充装管具有保护气口、氯硅烷进口、抽真空口和适于与氯硅烷气瓶相连的充装接口；保护气源，所述保护气源与所述保护气口连通、用于向所述充装管内供入保护气体以吹扫所述充装管；氯硅烷储罐，所述氯硅烷储罐与所述氯硅烷进口连通，所述氯硅烷储罐用于存储和亚沸蒸发液态氯硅烷以向所述充装管内供给气态氯硅烷；气液分离装置，所述气液分离装置设在所述充装管上，所述气液分离装置位于所述氯硅烷进口和所述充装接口之间，所述气液分离装置用于分离从所述氯硅烷进口供给到所述充装管内的气态氯硅烷中的液滴；真空泵，所述真空泵与所述抽真空口连通，所述真空泵用于对所述充装管以及与所述充装接口相连的氯硅烷气瓶抽真空；冷却装置，所述冷却装置设在所述充装管上且位于所述气液分离装置和所述充装接口之间，所述冷却装置用于将所述气态氯硅烷冷却为液态氯硅烷并分离和排出所述氯硅烷中的不凝气体；回流管，所述回流管连接在所述气液分离装置和所述氯硅烷储罐之间，用于将所述液滴回流至所述氯硅烷储罐内；充装面板，所述充装面板内具有充装通道，所述充装通道具有与所述充装接口连通的进口和多个出口，多个所述出口适于与多个氯硅烷气瓶一一对应地可拆卸相连；第二加热装置，所述第二加热装置设在所述氯硅烷储罐上，用于微波或红外辐射加热所述氯硅烷储罐内的氯硅烷液面，所述氯硅烷储罐的外周设有夹套，所述夹套具有加热介质通道，所述加热介质通道具有用于通入加热介质以加热所述氯硅烷储罐内的液态氯硅烷的介质进口和排出加热介质的介质出口，所述第二加热装置为红外加热管，所述红外加热管有多个，多个所述红外加热管在上下方向分为多层，每一层红外加热管均包括至少两个平行在水平方向间隔布置的所述红外加热管，且相邻两层中的红外加热管的延伸方向不同；所述氯硅烷储罐使用时，流入所述夹套内的加热介质能够将液态氯硅烷加热至接近沸点的温度，然后通过所述第二加热装置将接近沸点的所述液态氯硅烷加热并以分子状态逸出气液界面，逸出的气态氯硅烷会流入后续的所述气液分离装置处，实现所述氯硅烷储罐内液态氯硅烷的亚沸蒸发。

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