申请/专利权人：江苏集芯半导体硅材料研究院有限公司

申请日：2021-11-30

公开（公告）日：2023-03-14

公开（公告）号：CN114108093B

主分类号：C30B29/36

分类号：C30B29/36;C30B23/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.03.14#授权;2022.03.18#实质审查的生效;2022.03.01#公开

摘要：本发明公开了一种碳化硅晶体生长装置，碳化硅生长装置包括：炉体，炉体包括有反应腔；加热装置用于对反应腔加热；夹持组件，夹持组件包括多个籽晶夹持部，籽晶夹持部设在反应腔内并用于夹持籽晶；旋转驱动组件，旋转驱动组件包括多个第一旋转驱动部，第一旋转驱动部通过第一连接件与籽晶夹持部相连，且每个第一旋转驱动部均可独立驱动籽晶夹持部绕其所夹持的籽晶的中心轴线转动，且各所述籽晶101的旋转方向相同以使靠近相邻的两个所述籽晶之间的气体流动方向相反。由此，可以实现生长晶体边缘温度均匀化，在碳化硅粉和籽晶的表面之间建立稳定的SixCy蒸汽物质质量扩散通量，通过调节晶体生长方式，抑制生长晶体边缘多晶的形成，提高晶体质量。

主权项：1.一种碳化硅晶体生长装置，其特征在于，包括：炉体，所述炉体包括：加热装置、反应腔和坩埚盖，所述加热装置用于加热所述反应腔，所述坩埚盖通过坩埚盖夹持部设置于所述反应腔的顶部；内坩埚，所述内坩埚设置在所述反应腔的底部，用于盛放碳化硅粉；夹持组件，所述夹持组件包括多个籽晶夹持部31，所述籽晶夹持部31设在所述坩埚盖的下方，并用于夹持籽晶101；旋转驱动组件，所述旋转驱动组件包括与所述籽晶夹持部对应的第一旋转驱动部，所述第一旋转驱动部通过第一连接件41与所述籽晶夹持部31相连，各所述第一旋转驱动部均可独立驱动所述籽晶夹持部31绕其所夹持的所述籽晶101的中心轴线转动，其中各所述籽晶101的旋转方向相同以使靠近相邻的两个所述籽晶之间的气体流动方向相反；所述第一旋转驱动部设置在所述坩埚盖上，所述旋转驱动组件还包括第二旋转驱动部，所述第二旋转驱动部用于驱动所述坩埚盖12绕其中心轴线转动；多个所述第一旋转驱动部和所述第一连接件41可随所述坩埚盖12同步相对所述反应腔绕所述坩埚盖的中心轴线转动，所述第二旋转驱动部驱动所述坩埚盖的转动方向与所述籽晶的转动方向相反。

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